[发明专利]用于沉积的掩模和使用其的OLED面板有效

专利信息
申请号: 201780021805.6 申请日: 2017-03-23
公开(公告)号: CN109314192B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 孙晓源;朴宰奭 申请(专利权)人: LG伊诺特有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00;C23C14/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杜诚;刘敏
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了用于沉积的掩模和使用其的有机发光二极管面板。沉积掩模包括金属板。该金属板包括:有效区域,该有效区域具有多个通孔和介于通孔之间的桥;以及设置在有效区域的外部处的非有效区域。通孔在连接部分中形成,在该连接部分中,形成在第一表面中的第一表面孔与形成在第二表面中的第二表面孔接触,第二表面与第一表面相对,第一表面孔的宽度小于第二表面孔的宽度,第一表面孔的深度小于第二表面孔的深度,在等式1中计算的k值在从0.65或更大至小于1的范围内。
搜索关键词: 用于 沉积 使用 oled 面板
【主权项】:
1.一种沉积掩模,包括金属板,其中,所述金属板包括:有效区域,所述有效区域具有多个通孔和介于所述通孔之间的桥;以及设置在所述有效区域的外部处的非有效区域,以及其中,每个通孔在连接部分中形成,在所述连接部分中,形成在第一表面中的第一表面孔与形成在第二表面中的第二表面孔接触,所述第二表面与所述第一表面相对,所述第一表面孔的宽度小于所述第二表面孔的宽度,所述第一表面孔的深度小于所述第二表面孔的深度,以及在等式1中计算的k值在从0.65或更大至小于1的范围内,<等式1>k=H2(T‑H1),其中,T表示在所述非有效区域中测量的所述沉积掩模的厚度,H1表示在介于所述通孔之中的两个相邻通孔之间的桥具有最大厚度的点处从所述连接部分起在所述第一表面的方向上限定的厚度,以及H2表示在介于所述两个相邻通孔之间的所述桥具有最大厚度的点处从所述连接部分起在所述第二表面的方向上限定的厚度。
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