[发明专利]热扩散率测定装置、热扩散率测定方法以及程序

摘要

本发明提供一种即便是具有面内方向和厚度方向上的热扩散率大不相同的各向异性且厚度较厚的测定对象物、也能够以高精度而对热扩散率进行测定的热扩散率测定装置、热扩散率测定方法以及程序。热扩散率测定方法中，使平板状的试样的加热部位H产生周期性地变化的温度波，并且，利用非接触式温度传感器在试样的检测部位S对温度波进行检测。然后，考虑非接触式温度传感器的检测灵敏度分布DS而对检测部位S的温度波的相位滞后量进行检测，利用该相位滞后量而对试样的面内方向上的热扩散率进行测定。

主权项

1.一种热扩散率测定装置，其特征在于，具备：加热单元，该加热单元在具有表面和背面的测定对象物的表面以非接触的方式周期性地对加热部位进行加热；非接触式温度传感器，该非接触式温度传感器在所述测定对象物的背面以非接触的方式对检测部位的温度进行检测；以及热扩散率运算单元，该热扩散率运算单元计算出所述非接触式温度传感器的检测温度周期相对于所述加热单元的加热周期的相位滞后量，基于计算出的相位滞后量而对所述测定对象物的热扩散率进行运算，所述热扩散率运算单元针对所述非接触式温度传感器的检测温度而求出所述检测部位处的检测灵敏度分布的强度，对所述检测部位处的检测温度周期的相位和求出的检测灵敏度分布的强度进行积分处理，由此，计算出所述检测部位处的相位滞后量而对所述测定对象物的热扩散率进行运算。