[发明专利]光束扫描装置及图案描绘装置有效
| 申请号： | 201780022102.5 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108885337B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 铃木智也;加藤正纪;木内徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;B41J2/47;G03F7/20;G03F7/24;H04N1/113 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的将通过反射面的角度会变化的多面镜(PM)而偏向的光束(LBn)投射至基板(P)的扫描单元(Un)具备：再反射光学系统(CY2、M10)，其反射最初于多面镜(PM)反射的第1反射光束(LBn)而产生朝向多面镜(PM)的第2反射光束(LBn)，并且于与多面镜(PM)的偏向方向交叉的非偏向方向上使第2反射光束(LBn)收敛；及扫描用光学系统(FT、CY3)，其入射第2反射光束(LBn)于多面镜(PM)再次反射所得的第3反射光束(LBn)并朝向基板(P)射出。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 扫描 装置 图案 描绘 | ||
【主权项】：
1.一种光束扫描装置，其特征在于，是将通过反射面的角度会变化的可动反射构件而将偏向的光束投射至被照射体，且具备：再反射光学系统，其具备第1光学构件，该第1光学构件是反射最初于所述可动反射构件反射的第1反射光束而产生朝向所述可动反射构件的第2反射光束，并且于与通过所述可动反射构件产生的所述光束的偏向方向交叉的非偏向方向上使所述第2反射光束收敛；及扫描用光学系统，其入射所述第2反射光束于所述可动反射构件再次反射所得的第3反射光束，并朝向所述被照射体射出。
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