[发明专利]用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品有效
| 申请号： | 201780022627.9 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN108885409B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | K·沙赫;A·克罗斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品。在使用期间，由计算机系统接收多重图案化制造装置的设计。接着，所述计算机系统自动从所述设计确定所述设计的易于引起重叠误差的一或多个区域。此外，由所述计算机系统将所确定的一或多个区域的指示输出到检验系统以用于检验根据所述设计制造的多重图案化装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 多重 图案 制造 装置 重叠 相关 缺陷 设计 感知 系统 方法 计算机 程序 产品 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：由计算机系统接收多重图案化制造装置的设计；由所述计算机系统自动从所述设计确定所述设计的易于引起重叠误差的一或多个区域；由所述计算机系统将所述确定的一或多个区域的指示输出到检验系统以用于检验根据所述设计制造的多重图案化装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780022627.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图案描绘装置
- 下一篇：显影装置和电路基板的制造方法
