[发明专利]酚醛清漆型树脂及抗蚀剂材料有效

专利信息
申请号: 201780023399.7 申请日: 2017-03-23
公开(公告)号: CN109071744B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 今田知之;佐藤勇介 申请(专利权)人: DIC株式会社
主分类号: C08G8/20 分类号: C08G8/20;C08L61/08;G03F7/023;G03F7/20
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。
搜索关键词: 酚醛 清漆 树脂 抗蚀剂 材料
【主权项】:
1.一种酚醛清漆型树脂,其将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须的反应原料。
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