[发明专利]用于对准电子元件的装置、系统和方法有效
申请号: | 201780023548.X | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN109075116B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 弗朗茨·布兰德尔;汉斯-彼得·孟瑟;西格蒙德·尼克拉斯 | 申请(专利权)人: | 米尔鲍尔有限两合公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L23/544;H01L21/67;H01L21/673;H01L23/538 |
代理公司: | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人: | 韩登营 |
地址: | 德国罗*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于对准电子元件的系统,该系统包括用于对准电子元件的装置。用于对准电子元件的装置包括具有用于电子元件的对准结构的基板和用于使电子元件与对准结构对准的对准装置。对准结构限定第一和第二边缘,其相对于彼此成一角度并且与待对准的电子元件的彼此成相同一定角度的两个侧面互补。此外,对准装置设计成通过使电子元件的侧面与对准结构的第一边缘和第二边缘接触而使电子元件与对准结构对准。分配单元设计成通过用于将电子元件对准的装置而在靠近对准结构的分配点处分配电子元件。接收单元设计用于接收在设备中的对准结构上已对准的电子元件。 | ||
搜索关键词: | 用于 对准 电子元件 装置 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于对准电子元件(1)的系统,其具有:‑用于对准电子元件(1)的装置,其具有:‑带有用于电子元件(1)的对准结构(9,10,11;15,16;25)的载体(2;102;202,203),和‑用于将所述电子元件(1)与所述对准结构(9,10,11;15,16;25)对准的对准装置(14;17,18;26),其中,所述对准结构(9,10,11;15,16;25)限定彼此成一定角度的第一和第二边缘(10,11;15,16;25),所述第一和第二边缘与待对准的所述电子元件(1)的彼此成相同一定角度的两侧互补,其中所述对准装置(14;17,18;26)配置成通过使所述电子元件(1)的侧面与所述对准结构(9,10,11;15,16;25)的第一和第二边缘(10,11;15,16;25)接触来使得所述电子元件(1)与所述对准结构(9,10,11;15,16;25)对准;以及‑输送装置(3),所述输送装置配置成在用于对准所述电子元件的装置上方的且靠近所述对准结构(9,10,11;15,16;25)的输送点处输送所述电子元件(1);以及‑拾取装置(6;7,8),所述拾取装置配置成拾取所述装置中的已与所述对准结构(9,10,11;15,16;25)对准的所述电子元件(1)。
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