[发明专利]在溅射设备多层涂层系统中产生梯度层界定性质装置及方法有效
| 申请号： | 201780024388.0 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109072418B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 耶尔格·弗科斯基;哥德·克莱伊特 | 申请（专利权）人： | 格林策巴赫机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张凯;张杰 |
| 地址： | 德国阿斯巴赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于在溅射设备中的多层涂层系统中产生梯度层的界定性质的装置及方法，具有以下特征：a)阴极对，被布置在公共处理室中、且由第一阴极体以及第二阴极体组成，所述阴极对通过公共电源被供应直流电，其中，在进入所述处理室之前，所述直流电被转换为一系列脉冲，所述一系列脉冲具有交替的正脉冲及负脉冲、以及其间的脉冲间歇期，b)用于控制各个脉冲的长度以及相应的脉冲间歇期的持续时间的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 设备 多层 涂层 系统 产生 梯度 界定 性质 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在溅射设备中的多层涂层系统中产生梯度层的界定性质的装置，包括以下特征：a)阴极对，被布置在公共处理室中、且由第一阴极体以及第二阴极体组成，所述阴极对通过公共电源被供应直流电，其中所述直流电在进入所述处理室之前被转换为脉冲序列，所述脉冲序列具有交替的正脉冲及负脉冲、以及插入的脉冲暂停，b)用于控制各个脉冲的长度以及相应的脉冲暂停的持续时间的装置，c)用于以在待涂布的衬底上产生公共沉积区域的方式调节所述两个阴极的装置，d)公共工艺气体系统，其供应工艺气体的基本供应，其中单独的对称布置的分段工艺气体系统与每一个阴极体相关联。
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