[发明专利]光波导集成光接收元件及其制造方法有效
| 申请号： | 201780024438.5 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN109075219B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 名田允洋;村本好史;松崎秀昭 | 申请（专利权）人： | 日本电信电话株式会社 |
| 主分类号： | H01L31/107 | 分类号： | H01L31/107;G02B6/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙纪泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光波导集成光接收元件设置有光波导(105)，该光波导设置在第二接触层(102)的与设置有光吸收层(103)的一侧相反的一侧上，并且该光波导与第二接触层(102)光学耦合并具有与光吸收层(103)的平面平行的波导方向。第二接触层(102)在平面图中具有比光吸收层(103)的面积小的面积，并且设置在光吸收层(103)的内侧。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 集成 接收 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光波导集成光接收元件，包括：第一接触层，所述第一接触层由第一导电类型的化合物半导体制成；第二接触层，所述第二接触层由第二导电类型的化合物半导体制成；光吸收层，所述光吸收层由化合物半导体制成并且形成在所述第一接触层和所述第二接触层之间；增倍层，所述增倍层由化合物半导体制成并且形成在所述第一接触层及所述第二接触层中的一者与所述光吸收层之间；以及光波导，所述光波导布置在所述第二接触层的与布置所述光吸收层的一侧相反的一侧上，具有与所述光吸收层的平面平行的波导方向，并且与所述第二接触层光学耦合，其中，所述第二接触层在平面图中具有比所述光吸收层的面积小的面积，并且在所述平面图中布置在所述光吸收层的内侧。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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