[发明专利]RF返回条带屏蔽盖罩有效
| 申请号： | 201780025150.X | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN109075007B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 崔弈;罗宾·L·蒂纳;朴范秀;崔寿永;栗田真一 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式一般涉及一种具有屏蔽盖罩的基板支撑组件。在一个实施方式中，本文公开一种基板支撑组件。所述基板支撑组件包括支撑板、多个RF返回条带、至少一个屏蔽盖罩以及杆。所述支撑板被构造为支撑基板。所述多个RF返回条带耦接到所述支撑板的底表面。至少一个屏蔽盖罩耦接到所述支撑板的底表面，在所述多个RF返回条带与所述底表面之间。所述杆耦接到所述支撑板。 | ||
| 搜索关键词： | rf 返回 条带 屏蔽 | ||
【主权项】：
暂无信息
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