[发明专利]堆叠差异的确定和使用堆叠差异的校正有效
| 申请号： | 201780025162.2 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109073992B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | A·J·登博夫;K·布哈塔查里亚 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括：获得使用图案化工艺处理的衬底上的量测目标的测量，该测量是使用测量辐射获得的；以及从测量导出图案化工艺的感兴趣参数，其中感兴趣参数由堆叠差异参数校正，堆叠差异参数表示目标的相邻周期性结构之间或量测目标与衬底上的另一相邻目标之间的物理配置中的非设计差异。 | ||
| 搜索关键词： | 堆叠 差异 确定 使用 校正 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：获得使用图案化工艺处理的衬底上的量测目标的测量，所述测量是使用测量辐射获得的；以及从所述测量导出所述图案化工艺的感兴趣参数，其中所述感兴趣参数由堆叠差异参数校正，所述堆叠差异参数表示所述目标的相邻周期性结构之间或所述量测目标与所述衬底上的另一相邻目标之间的物理配置中的非设计差异。
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