[发明专利]去除气体管线内的沉积后残余的前驱物的设备和方法

摘要

描述一种用于向处理腔室供应气体的设备和方法。设备包括入口管线和出口管线，它们各自有两个阀，与安瓿流体连通。旁通管线连接最靠近安瓿的入口阀和出口阀。设备和使用方法允许从处理腔室的输送管线中去除前驱物残余物。

主权项

1.一种设备，包括：安瓿盖，具有外表面和内表面；和阀组，连接到所述安瓿盖的所述外表面，所述阀组包括：入口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；出口管线，连接到所述安瓿盖以允许通过所述安瓿盖的流体连通；第一入口阀，与所述入口管线流体连通；第二入口阀，与所述入口管线流体连通且在所述第一入口阀的上游；第一出口阀，与所述出口管线流体连通；第二出口阀，与所述出口管线流体连通且在所述第一出口阀的下游；旁通管线，与所述第一入口阀和所述第一出口阀流体连通；和旁通阀，与所述旁通管线流体连通。