[发明专利]用于向蒸发器设备供给液体材料的装置有效
| 申请号： | 201780027343.9 | 申请日： | 2017-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN109072414B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | E·策斯特贝尔根;C·科芒德尔;R·J·斯尼耶德斯;E·P·M·巴克;P·W·哈泽勒特;D·A·哈密尔顿;S·J·威狄斯;T·D·凯泽 | 申请（专利权）人： | 塔塔钢铁荷兰科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H02K44/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 许剑桦 |
| 地址： | 荷兰费尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将液态金属供给在真空腔室中的蒸发器设备的装置，其中，该装置包括：容器，该容器适于容纳液态金属；供给管(15)，该供给管从封闭容器到蒸发器设备；以及电磁泵(16)，该电磁泵设置在供给管中，其中，电磁泵布置在真空罩(18)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发器 设备 供给 液体 材料 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于将液态金属供给真空腔室中的蒸发器设备的装置，所述装置还包括：容器，所述容器适于容纳液态金属；供给管，所述供给管从容器至蒸发器设备；以及电磁泵，所述电磁泵设置在供给管中，其特征在于：设置了真空罩，所述真空罩包围电磁泵。
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