[发明专利]光束扫描装置有效
| 申请号： | 201780027995.2 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109196423B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;中山修一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/10;G02B26/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚;王春光 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 作为于基板(P)上一维地扫描光束(LBn)的光束扫描装置的扫描单元(Un)，具备于一方向具有聚焦力的第1柱面透镜(CY1)、使透过第1柱面透镜(CY1)的光束(LBn)偏向以便进行一维扫描的多面镜(PM)、将以远心的状态偏向的光束(LBn)投射至基板(P)的fθ透镜系统(FT)、及入射透过fθ透镜系统(FT)的光束(LBn)且于一方向具有聚焦力的第2柱面透镜(CY2)，第1柱面透镜(CY1)与第2柱面透镜(CY2)于彼此正交的方向具有聚焦力，该扫描单元(Un)进而具备设置于第1柱面透镜(CY1)与多面镜(PM)之间的透镜系统(G10)。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 扫描 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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