[发明专利]微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法有效
| 申请号： | 201780028744.6 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN109073673B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;D·古格尔;G-N-C·乌尔里希;M·林克-莱斯卡纳;A·皮格勒尼耶 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，‑每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，‑所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，‑每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，‑所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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