[发明专利]压电振动器件及压电振动器件的制造方法有效
| 申请号： | 201780029715.1 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN109155620B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 吉冈宏树 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H01L23/02;H03B5/32;H03H9/10 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电振动器件(10)中，在晶振片(2)上被形成为环状的振动侧第一接合图案(251)与在第一密封件(3)上被形成为环状的密封侧第一接合图案(321)接合；在晶振片(2)上被形成为环状的振动侧第二接合图案(252)与在第二密封件(4)上被形成为环状的密封侧第二接合图案(421)接合，而形成环状接合构件(11a、11b)，实现压电振动的振动部(22)被接合构件(11a、11b)气密密封，接合构件(11a、11b)的内周缘部(111a、111b)及外周缘部(112a、112b)被形成为比内周缘部(111a、111b)与外周缘部(112a、112b)之间的中间部分(113a、113b)密集的状态。该结构能使对振动部进行密封的环状密封用接合件的气密性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电振动器件，通过将在第一构件上被形成为环状的第一金属膜与在第二构件上被形成为环状的第二金属膜接合，而形成环状的密封用接合件，实现压电振动的振动部被所述密封用接合件气密密封，其特征在于：所述密封用接合件的内周缘部及外周缘部被形成为比所述内周缘部与所述外周缘部之间的中间部分密集的状态。
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