[发明专利]谐振装置制造方法有效
| 申请号： | 201780029832.8 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN109155614B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 盛永俊吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/007 | 分类号： | H03H3/007;H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种谐振装置制造方法，不损害谐振子的压电性而进行谐振频率的调整。包括：准备下盖的工序；将基板配置为该基板的下面与上述下盖对置，并在基板的上面依次形成第一电极层、压电膜以及第二电极层的工序；由第一电极层、第二电极层以及压电膜形成进行弯曲振动的振动臂，形成具有该振动臂的谐振子的工序；以及将上盖配置为隔着谐振子与下盖对置的工序，在配置上盖的工序之前或者之后，还包括通过在第一电极层与第二电极层之间施加电压，使振动臂激励，使该振动臂的一部分与下盖以及上述上盖的至少一方碰撞，来调整谐振子的频率的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振装置制造方法，其中，包括：准备下盖的工序；将基板配置成该基板的下面与上述下盖对置，并在上述基板的上面依次形成第一电极层、压电膜以及第二电极层的工序；由上述第一电极层、上述第二电极层以及上述压电膜形成进行弯曲振动的振动臂，并形成具有该振动臂的谐振子的工序；以及将上盖配置成隔着上述谐振子与上述下盖对置的工序，在配置上述上盖的工序之前或者之后，还包括通过在上述第一电极层与上述第二电极层之间施加电压，来使上述振动臂激励，并使该振动臂的一部分与上述下盖以及上述上盖的至少一方碰撞，从而调整上述谐振子的频率的工序。
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