[发明专利]用于RF发生器中的频率调谐的装置有效
| 申请号： | 201780031100.2 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN109156075B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | M·Y·崔;D·肖;M·米勒;J·罗贝格;S·乔丹 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王丽军 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供射频(RF)发生器，其包括激励器、功率放大器、滤波器、传感器和频率调谐子系统。所述频率调谐子系统包括非暂时有形机器可读介质，其包含用于执行包括以下方法的指令：接收等离子体负载的阻抗轨迹；接收复合反射系数平面中的参考点，所述参考点在穿通过参考点和原点的参考矢量上；从传感器接收测量的等离子体负载阻抗；确定参考矢量和线之间的测量角度，所述线穿通过参考点和与测量的阻抗对应的复合反射系数平面中的点；以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；将频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；以及使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 rf 发生器 中的 频率 调谐 装置 | ||
【主权项】：
1.一种射频(RF)发生器，包括：激励器，生成以初始频率振荡的信号；功率放大器，放大所述信号以产生放大的振荡信号；滤波器，过滤所述放大的振荡信号，以产生向等离子体处理室中的等离子体负载供应功率的输出信号；传感器，感测等离子体负载的至少一个属性；和频率调谐子系统，配置为：产生作为激励器频率的函数的等离子体负载的阻抗轨迹；接收复合反射系数平面中的参考点，所述参考点位于穿通过参考点和复合反射系数平面的原点的参考矢量上；从传感器接收等离子体负载的阻抗的测量值，测量的阻抗位于沿阻抗轨迹上；确定在参考矢量与线之间的测量角度，其表示为复合反射系数，所述线穿通过参考点和与测量的阻抗相对应的复合反射系数平面中的点；以预定常数缩放测量角度，以产生频率步长；将所述频率步长加到初始频率，以产生调节过的频率；和使激励器生成以调节过的频率振荡的信号。
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