[发明专利]可变射频微机电开关有效
| 申请号： | 201780031349.3 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN109314018B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 罗曼·斯特凡尼尼;张岭岩;皮埃尔·布隆迪;法宾·鲁博;凯文·纳多 | 申请（专利权）人： | 利摩日大学;法国国家科研中心;埃尔曼斯公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种射频微机电开关(通常使用首字母缩略词RF MEMS)以及制造这种开关的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 射频 微机 开关 | ||
【主权项】：
1.一种射频微机电开关(1)，包括：‑一半导体基板和/或绝缘基板(2)，所述半导体基板和/或绝缘基板(2)具有基本平坦面(21)；‑一第一RF线(3)，所述第一RF线(3)能够传输RF信号并且包括至少一个金属层，所述第一RF线(3)设置于所述基板(2)的所述面(21)上；‑一第二RF线(4)，所述第二RF线(4)能够传输RF信号并且包括至少一个金属层；‑一MEMS膜(5)，所述MEMS膜(5)能够通过静电类型的一次或多次激活朝向所述基板(2)或相反方向偏转，所述MEMS膜(5)包括至少一层金属并且基本上平行于所述基板(2)并通过一个或多个锚(51)与所述第一RF线(3)相连；‑一圆顶(6)，所述圆顶(6)具有与基板(2)的所述面(21)相对的内表面(61)和与所述内表面(60)相对的外表面(62)，所述圆顶(6)包括至少一个介电层，所述圆顶(6)布置于所述第二RF线(4)和MEMS膜(5)之间，将所述MEMS膜封闭地封装在腔体(C)中，并且锚固在所述基板(2)的所述面(21)上，所述开关的特征在于，所述第二RF线(4)至少包括与所述基板(2)的所述面接触的第一部分(41)和与所述第一部分(41)相邻并且电连接的第二部分(42)，所述第二部分(42)至少部分地覆盖在所述圆顶(6)的上部。
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