[发明专利]脉冲光生成装置、脉冲光生成方法、具备脉冲光生成装置的曝光装置及检查装置有效
| 申请号： | 201780032533.X | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN109196416B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 德久章 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02F1/365 | 分类号： | G02F1/365;G02F1/37;H01S3/00;H01S3/067 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明能够获得抑制波长光谱的扩大并被放大了的高强度脉冲光。脉冲光生成装置构成为包括：第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 生成 装置 方法 具备 曝光 检查 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲光生成装置，其特征在于，所述脉冲光生成装置构成为包括：第1光纤，其供第1脉冲光和第2脉冲光在合波后入射并在内部传播，其中，所述第2脉冲光在所述第1脉冲光的强度增大时强度减小，而在所述第1脉冲光的强度减小时强度增大；以及第2光纤，其接收从所述第1光纤射出的所述第1脉冲光而在内部传播并放大，在所述第1光纤中，因来自所述第2脉冲光的交叉相位调制而在所述第1脉冲光中产生相位调制，在所述第2光纤中在所述第1脉冲光产生的自相位调制因在所述第1光纤中产生的相位调制而被抵消。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780032533.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有凸起电阻性桥的电活性透镜
- 下一篇：成像装置和图像抖动校正方法
