[发明专利]用于基于扼流的质量流验证的方法、系统和设备在审
| 申请号： | 201780032596.5 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN109477752A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 凯文·M·布拉希尔;叶祉渊;贾斯汀·霍夫;杰德夫·拉贾拉姆;玛塞勒·E·约瑟夫森;阿什利·M·奥卡达 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 质量流验证系统与设备可依据扼流原理而验证质量流控制器(MFC)的质量流速率。这些系统与设备可以包括并联耦接的多个不同尺寸的流量限制器。可以经由依据MFC的设定点而选择通过流量限制器中的一个的流动路径以验证各种流动速率。可以经由在扼流条件下的流量限制器的上游的压力与温度测量而确定质量流速率。也提供依据扼流原理验证质量流速率的方法，以及其他态样。 | ||
| 搜索关键词： | 扼流 流量限制器 质量流速 验证 质量流 质量流控制器 系统和设备 并联耦接 流动路径 温度测量 验证系统 原理验证 上游 流动 | ||
【主权项】：
1.一种质量流验证系统，包含：入口；第一压力传感器与温度传感器，所述第一压力传感器与所述温度传感器中的每一个耦接于所述入口的下游；多个隔离阀，耦接于所述入口的下游；多个不同尺寸的流量限制器，并联耦接于所述入口的下游，所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个与所述入口以及所述多个隔离阀中的各自一个串联耦接；出口，串联耦接于所述多个不同尺寸的流量限制器中的每一个的下游；和控制器，耦接至所述第一压力传感器、所述温度传感器和所述多个隔离阀，其中所述控制器经配置以响应于由所述温度传感器在扼流条件下测量的温度与由所述第一压力传感器在所述扼流条件下测量的第一压力，而确定质量流速率。
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