[发明专利]功率器件用冷却器的制造方法有效

专利信息
申请号: 201780033129.4 申请日: 2017-03-03
公开(公告)号: CN109219877B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 久保田悦郎;平山智将;平野裕 申请(专利权)人: 日本轻金属株式会社
主分类号: H01L23/36 分类号: H01L23/36;H01L23/473;H01L25/07;H01L25/18
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 韩俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种功率器件用冷却器的制造方法,能实现成本的低廉化,并且能理想地实现与装有功率器件的发热体的接合,此外能实现生产性的提高。在经由非腐蚀性焊剂和钎焊材料对构成冷却器的铝制的第一壳体和第二壳体进行钎焊之后,通过湿式喷砂法将附着在第一壳体和第二壳体中的至少接合到装有功率器件的发热体的受热面上的焊剂残渣去除,在上述湿式喷砂法中,利用压缩空气对由中心粒径为4~250μm的多边形状的氧化铝粒子形成的研磨件与液体的混合物进行投射。
搜索关键词: 功率 器件 冷却器 制造 方法
【主权项】:
1.一种功率器件用冷却器的制造方法,其中,所述功率器件用冷却器包括:铝制的第一壳体和第二壳体,所述第一壳体和所述第二壳体彼此接合以在内部形成制冷剂流通空间;以及多个铝制的翅片,多个所述翅片配置在所述制冷剂流通空间内,并分别在相邻部分之间形成制冷剂流通路径,所述功率器件用冷却器被接合到装有功率器件的发热体,以对从所述功率器件产生的热进行冷却,所述功率器件用冷却器的制造方法的特征在于,包括:钎焊接合工序,在所述钎焊接合工序中,经由非腐蚀性焊剂和钎焊材料对所述第一壳体、所述第二壳体和所述翅片进行钎焊;以及焊剂残渣去除工序,在所述钎焊之后,在所述焊剂残渣去除工序中将所述第一壳体和所述第二壳体表面的焊剂残渣去除,所述焊剂残渣去除工序是通过湿式喷砂法进行的,在所述湿式喷砂法中,利用压缩空气将由中心粒径为4~250μm的多边形状的氧化铝粒子形成的研磨件与液体的混合物投射到所述第一壳体和所述第二壳体的、被接合到所述发热体的受热面。
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