[发明专利]表面检查系统和检查方法在审

专利信息
申请号: 201780033749.8 申请日: 2017-05-29
公开(公告)号: CN109313141A 公开(公告)日: 2019-02-05
发明(设计)人: M·理查德;F·皮劳德 申请(专利权)人: 鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;G01N21/88
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 金星
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明涉及一种表面检查系统(10),该表面检查系统(10)用于检查出现在检查区域(5)的板材元件(2)的表面,该表面检查系统(10)包括影像评估单元(18)、两个光源(12,14)和相机(16),其中两个光源(12,14)在照明平面(O11)的相对两侧,并且定向为照射该检查区域(5),该相机(16)适于沿观看平面(O16)获取检查区域(5)的线图像(l12,l14),该照明平面(O11)和观看平面(O16)分別设置在中间平面(M)的相对两侧,该中间平面(M)垂直于检查平面,该照明平面(O11)和中间平面(M)之间的角度(α)及观看平面(O16)和中间平面(M)之间的角度(α)相等。本发明还涉及使用上述的表面检查系统(10)检查板材元件(4)表面的方法,其中两个光源(12,14)的第一光源把光导向待检查的板材元件(4)的表面,该相机(16)获取检查区域(5)的线图像(l12;l14),然后两个光源(14,12)的第二光源把光导向待检查的板材元件(4)的表面,所述相机(16)获取检查区域(5)的线图像(l14;l12),其中影像评估单元(18)比较两张获取的线图像(l12;l14),具体地将两张线图像彼此相减。
搜索关键词: 表面检查系统 光源 检查区域 线图像 板材元件 中间平面 照明平面 相机 检查 相对两侧 影像评估 光导向 观看 相减 相等 照射 垂直
【主权项】:
1. 一种表面检查系统(10),所述表面检查系统(10)用于检查出现在检查区域(5)的板材元件(2)的表面,所述表面检查系统(10)包括影像评估单元(18)、两个光源(12,14)和相机(16),其中所述两个光源(12,14)相邻配置在照明平面(O11)的相对两侧,并且定向为照射所述检查区域(5),所述相机(16)适于沿观看平面(O16)获取所述检查区域(5)的线图像(l12, l14),所述照明平面(O11)和所述观看平面(O16)分別设置在中间平面(M)的相对两侧,所述中间平面(M)垂直于检查平面,所述照明平面(O11)和所述中间平面(M)之间的角度(α)及所述观看平面(O16)和所述中间平面(M)之间的角度(α)相等。
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