[发明专利]基板距离监控有效
| 申请号： | 201780034449.1 | 申请日： | 2017-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN109219863B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 小温德尔·G·博伊德;戈文达·瑞泽 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 于此公开的实施方式包括一种具有传感器组件的面板，一种具有所述传感器组件的处理腔室、及在处理腔室中用于监控基板的方法。在一个实施方式中，面板经配置以将处理气体导入等离子体处理腔室中。面板具有一个或多个孔。传感器组件设置于一个或多个孔中。传感器组件具有传感器及控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 距离 监控 | ||
【主权项】：
1.一种经配置以将处理气体导入等离子体处理腔室的面板，所述面板包括：盘状主体；多个孔，穿过所述主体而形成所述多个孔；及第一传感器组件，所述第一传感器组件设置于所述多个孔中的一个中，所述第一传感器组件包括：传感器，所述传感器经配置以提供指示在基板支撑件与所述第一传感器组件之间限定的距离的测度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780034449.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电开关
- 下一篇：从晶片移除光刻胶的液体过滤
