[发明专利]通过使用锥形光纤的超连续谱生成的广谱辐射在审
| 申请号： | 201780034762.5 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN109313403A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 梁敬培;陈涛;R·J·哈弗林;I·M·P·阿尔茨;A·朱博尔;J·卡博尼 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G02F1/365 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种测量装置，包括：锥形光纤，该锥形光纤具有用于接收辐射的输入并且具有用于朝向测量目标提供在光谱上增宽的输出辐射的输出，锥形光纤被配置为在光谱上增宽在输入处接收的辐射；以及检测器系统，被配置为从测量目标接收输出辐射的重定向部分。 | ||
| 搜索关键词： | 锥形光纤 输出辐射 增宽 光谱 辐射 检测器 测量装置 超连续谱 朝向测量 目标接收 输入处 重定向 广谱 配置 测量 输出 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，包括：锥形光纤，所述锥形光纤具有用于接收辐射的输入并且具有用于朝向测量目标提供在光谱上增宽的输出辐射的输出，所述锥形光纤被配置为在光谱上增宽在所述输入处接收的辐射；以及检测器系统，被配置为从所述测量目标接收所述输出辐射的重定向部分。
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