[发明专利]具有转印图案的被转印物的制造方法有效

专利信息
申请号: 201780034912.2 申请日: 2017-06-14
公开(公告)号: CN109311191B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 山下恒雄;阪本英司;英翔;新居沙弥;荒木孝之 申请(专利权)人: 大金工业株式会社
主分类号: B29C33/62 分类号: B29C33/62;B29C59/02;H01L21/027
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 庞东成;孟伟青
地址: 日本大阪*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种制造方法,其中即使反复进行转印,被转印物也不容易从基板剥离或附着于模具。一种被转印物的制造方法,其特征在于,其包括下述工序:工序(1),将含有氟聚醚的组合物涂布至形成有脱模层的在表面具有凹凸图案的模具的上述脱模层;工序(2),将上述模具压抵至被转印物,转印上述凹凸图案;以及工序(3),将上述模具从上述被转印物脱模,得到具有转印图案的上述被转印物。
搜索关键词: 具有 图案 被转印物 制造 方法
【主权项】:
1.一种被转印物的制造方法,其特征在于,其包括下述工序:工序(1),将含有氟聚醚的组合物涂布至形成有脱模层的在表面具有凹凸图案的模具的所述脱模层,工序(2),将所述模具压抵至被转印物,转印所述凹凸图案,以及工序(3),将所述模具从所述被转印物脱模,得到具有转印图案的所述被转印物。
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