[发明专利]蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏的制造方法有效
| 申请号： | 201780037694.8 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN109328242B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 川崎博司;曾根康子;穗刈久实子 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 韩锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜 有机半导体 元件 制造 方法 以及 有机 el 显示屏 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩膜，通过具有与蒸镀制作图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，该蒸镀掩膜的特征在于，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状，并且增加了使该多边形的整周的长度延长的延长部的形状。
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