[发明专利]用于离子源的汽化器有效
| 申请号： | 201780038355.1 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN109417005B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 奎格·R·钱尼;大卫·P·斯波德莱 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有若干新颖特征以防止蒸汽冷凝及喷嘴堵塞的汽化器。所述汽化器被设计成使得当蒸汽从坩埚流到电弧室时，温度沿着蒸汽所行进的路径而升高。所述汽化器使用将坩埚安装在外壳体内的嵌套架构。离开所述坩埚的蒸汽穿过开孔逸出，并沿着坩埚与外壳体之间的空间行进至喷嘴，蒸汽在所述喷嘴处流到电弧室。在某些实施例中，坩埚中的开孔设置在使坩埚中的液体无法到达开孔的位置处。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 汽化器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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