[发明专利]非接触支撑平台和用于生产其流体垫层的工作台

摘要

一种非接触支撑平台包括分布在工作台表面上的压力端口，该压力端口各自连接至压力源。真空端口分布在该工作台表面上，该真空端口各自连接至真空源。通过该压力端口的向外流动和通过该真空端口的向内流动形成流体垫层以在距该工作台的非零距离处支撑工件。多个通道各自连接该真空端口中的至少两个以使流体能够在连接的真空端口之间流动。当连接的真空端口中的一个被该工件的边缘覆盖并且另一个没有被覆盖时，通过该连接的真空端口施加在该边缘上的吸力弱于施加在其中两个连接的真空端口都被覆盖的该工件的一部分上的吸力。

主权项

1.一种非接触支撑平台，其包括：多个压力端口，所述压力端口分布在工作台表面上，每个压力端口被配置为连接至压力源以使流体通过所述压力端口向外流动；多个真空端口，所述多个真空端口分布在所述工作台表面上，每个真空端口被配置为连接至真空源以使流体通过所述真空端口向内流动，通过所述压力端口的所述向外流动和通过所述真空端口的所述向内流动被配置为形成流体垫层以在距所述工作台的非零距离处支撑工件；和多个通道，每个通道连接所述真空端口中的至少两个以使流体能够经由所述通道在连接的真空端口之间流动，使得当所述连接的真空端口中的一个被所述工件的边缘覆盖且另一个连接的真空端口未被所述工件覆盖时，通过所述连接的真空端口施加在所述边缘上的吸力弱于通过所述连接的真空端口施加在其中两个所述连接的真空端口都被覆盖的所述工件的一部分上的吸力。