[发明专利]湿式处理系统及其操作方法

摘要

本文描述一种电化学沉积系统，该电化学沉积系统具有两个以上电化学沉积模块，该等电化学沉积模块是在一共同平台上加以配置且是配置成用于在一基板上沉积一种以上金属。每一电化学沉积模块包括配置成包含阳极电解液流体的容积的一阳极隔间、配置成包含阴极电解液流体的容积的一阴极隔间、及将该阳极隔间与该阴极隔间分隔开的一膜。每一电化学沉积模块更包含一工件固持器及一装载器模块，该工件固持器是配置成藉由一夹持机构将在第一和第二腿部构件之间的一挠性工件的相对的边缘加以固持，该装载器模块是配置成将该挠性工件定位在该工件固持器内，且同时在该挠性工件的每一相反的平坦表面上使用一气垫固持该挠性工件。

主权项

1.一种电化学沉积系统，其特征在于，包含：两个以上电化学沉积模块，在一共同平台上加以配置且系配置成用于在一基板上沉积一种以上金属，每一电化学沉积模块包含：一阳极隔间，配置成容纳阳极电解液流体的容积；一阴极隔间，配置成容纳阴极电解液流体的容积；及一装载端口，配置成接收一组挠性工件；一装载器模块，配置成自该装载端口接收一挠性工件及将该挠性工件定位在一工件固持器内，且同时在该挠性工件的每一相反的平坦表面上使用一气垫固持该挠性工件；该工件固持器，具有将第一和第二腿部构件分隔开的一头座构件，该工件固持器是配置成藉由一夹持机构在该第一和第二腿部构件之间固持该挠性工件的相对的边缘，该夹持机构将复数电接触件施加至该挠性工件的该等相反的平坦表面，其中当该挠性工件是由该工件固持器加以固持时，该等电接触件是由针对该挠性工件的一弹性密封件加以围绕，该工件固持器系配置成将该挠性工件的两面曝露于电镀溶液；一传送机构，配置成藉由工件固持器将挠性工件从该装载器模块传送至一给定电化学沉积模块，及将一给定工件下降进入该给定电化学沉积模块；一电气系统，配置成当该挠性工件是在该给定电化学沉积模块内加以固持时，将电流施加至该挠性工件的每一相反的平坦表面，使得每一相反的平坦表面以金属加以镀覆；一卸除器模块，配置成从该工件固持器移除该挠性工件，及将该挠性工件传送至一卸除端口，该卸除端口是配置以接收该组挠性工件。