[发明专利]湿式处理系统用工件固持器

摘要

本文的技术提供可固持相对挠性及薄的工件的工件固持器，用于传送及电化学沉积，且同时避免电镀流体润湿一给定工件的接触件或接触区域。工件固持器框架藉由在工件的相反侧上夹持工件而固持工件。挠曲结构用于夹持一给定工件，及用于提供将电流供应至工件的电路径。弹性体覆盖件提供电性挠曲结构的密封及绝缘。工件固持器亦对工件提供张力，以在处理期间帮助使工件保持平坦。各挠曲结构可对工件表面提供独立的电路径。

主权项

1.一种工件固持器，其特征在于，包含：一工件固持器框架，配置成藉由在一工件的相反侧上夹持该工件而固持该工件，该工件固持器框架具有一头座构件，该头座构件配置成被夹持且被传送进出能够在该工件的相反表面上处理该工件的一处理单元；一第一挠曲腿部，自该头座构件的一第一端延伸，且配置成夹持该工件的一第一边缘，该第一挠曲腿部具有沿该第一挠曲腿部的长度附接的一第一对挠曲接触密封条，使得当使用时，该第一对挠曲接触密封条的内边缘可密封地接触该工件的该第一边缘的相反侧，且将该第一边缘夹持于其间；及一第二挠曲腿部，自该头座构件的一第二端延伸，且配置成夹持该工件的一第二边缘，该第二挠曲腿部具有沿该第二挠曲腿部的长度附接的一第二对挠曲接触密封条，使得当使用时，该第二对挠曲接触密封条的内边缘可密封地接触该工件的该第二边缘的相反侧，且将该第二边缘夹持于其间。