[发明专利]硅化合物材料的制造方法和硅化合物材料制造装置在审
| 申请号： | 201780040374.8 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN109415212A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 福岛康之;赤崎梢;田中康智;秋久保一马;中村武志;霜垣幸浩;百濑健;佐藤登;岛纮平;船门佑一 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI;国立大学法人东京大学 |
| 主分类号： | C01B32/977 | 分类号： | C01B32/977;C01B33/107;C04B35/565;C23C16/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 硅化合物材料的制造方法包含如下工序：将碳化硅的预制体容纳于反应炉中的工序；向反应炉供给包含甲基三氯硅烷的原料气体，使碳化硅含浸于预制体中的工序；以及以预定速度控制从反应炉排出的气体的温度并使其下降，对气体施加连续的热历程，从而减少源自气体的、液体或固体副产物的产生的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 硅化合物 反应炉 碳化硅 预制体 材料制造装置 甲基三氯硅烷 固体副产物 速度控制 原料气体 含浸 炉排 制造 容纳 施加 | ||
【主权项】：
1.一种硅化合物材料的制造方法，其包含如下工序：将碳化硅的预制体容纳于反应炉中的工序；向所述反应炉供给包含甲基三氯硅烷的原料气体，使碳化硅含浸于所述预制体中的工序；以及以预定速度控制并变更从所述反应炉排出的气体的温度，对所述气体施加连续的热历程，从而减少源自所述气体的、液体或固体副产物的产生的工序。
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