[发明专利]在意外中断后恢复工件的线锯切过程的方法和设备在审
| 申请号： | 201780040490.X | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN109414774A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | A·里格尔;W·施博克内尔 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | B23D57/00 | 分类号： | B23D57/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于恢复中断的利用线锯将工件锯切成多个晶片的过程的方法，所述线锯使用覆盖有磨料的锯线、例如金刚石锯线。根据本发明的方法在此参考用金刚石线锯将由半导体材料制成的工件锯切成多个晶片的工艺示例来呈现，但也适用于由其它材料制成的工件。此外，本发明还涉及一种用于利用锯线将工件锯切成多个晶片的设备，该设备使得可以检测线断裂的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 锯切 线锯 半导体材料 磨料 方法和设备 金刚石线锯 中断 金刚石锯 断裂的 检测线 恢复 参考 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于恢复中断的利用线锯将工件6锯切成多个晶片的过程的方法，所述方法包括：通过至少一个传感器8检测工件6中的已经发生线断裂的锯切间隙7的位置或者工件6中的位于受到线断裂影响的锯切间隙7的左右两侧的多个锯切间隙7的位置；修复或更换锯线3；形成由许多平行布置的线段组成的新的线网5，该线网5由至少两个线引导件4张紧，被流体润湿的线段被引入已经存在于工件6中的多个锯切间隙7中，其中，线网5在发生线断裂的锯切间隙7的区域中变宽，使得受到线断裂影响的锯切间隙7的左侧和右侧的限定区域或仅实际上受到线断裂影响的锯切间隙7被排除在新线段的重新穿线之外。
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