[发明专利]用于测量转速和/或加速度的惯性传感器

摘要

本发明提出一种惯性传感器，具有衬底和至少两个可从静止位置中偏移的质量，衬底具有主延伸平面，质量与衬底机械耦合，惯性传感器具有用于探测质量沿着第一方向的运动的探测器件，质量通过第一耦合元件、第二耦合元件和第三耦合元件机械耦合，第一耦合元件具有第一主延伸方向，第二耦合元件具有第二主延伸方向，第三耦合元件具有第三主延伸方向，这些主延伸方向在静止位置中平行于主延伸平面布置，耦合元件刚性地构造，每个耦合元件与至少一个另外的耦合元件连接，耦合元件布置成使得在质量从静止位置中偏移时进行第一主延伸方向相对于第二主延伸方向的偏转和第二主延伸方向相对于第三主延伸方向的偏转，耦合元件经衬底附接部位与衬底机械耦合。

主权项

1.用于测量转速和/或加速度的惯性传感器(1)、尤其是微机电惯性传感器(1)，其中，所述惯性传感器(1)具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面，其中，所述惯性传感器(1)具有至少两个能从静止位置中偏移出的质量(2、2')，其中，所述质量(2、2')与所述衬底机械耦合，其中，所述惯性传感器(1)具有用于探测所述质量(2、2')沿着第一方向的运动的至少一个探测器件，其特征在于，‑所述质量(2、2')通过至少一个第一耦合元件(8)、第二耦合元件(8')和第三耦合元件(8”)相互机械耦合，‑其中，所述第一耦合元件(8)具有第一主延伸方向，其中，所述第二耦合元件(8')具有第二主延伸方向，其中，所述第三耦合元件(8”)具有第三主延伸方向，‑其中，所述第一主延伸方向、所述第二主延伸方向和所述第三主延伸方向在所述静止位置中基本上平行于所述主延伸平面地布置，‑其中，所述耦合元件(8、8'、8”)基本上刚性地构造，‑其中，每个耦合元件(8、8'、8”)与所述耦合元件(8、8'、8”)中的至少一个另外的耦合元件连接，‑其中，所述耦合元件(8、8'、8”)如此布置，使得在所述质量(2、2')从所述静止位置中偏移出时进行所述第一主延伸方向相对于所述第二主延伸方向的偏转和所述第二主延伸方向相对于所述第三主延伸方向的偏转，‑其中，所述耦合元件(8、8'、8”)经由至少一个衬底附接部位(3)与所述衬底机械耦合。