[发明专利]物理量传感器在审
| 申请号： | 201780041031.3 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109416254A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 城森知也 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747;B81B3/00;H01L41/09;H01L41/113 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 朴勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使支承检测平衡块(35、36)的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的弹簧常数不同。而且，增大第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的一方的x轴方向的尺寸，并增大检测压电膜(61a～61d)的形成面积，从而实现灵敏度提高，并且抑制另一方的x轴方向的尺寸，从而抑制检测共振频率变大。由此，能够实现灵敏度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 第二检测 灵敏度 检测梁 物理量传感器 弹簧常数 共振频率 抑制检测 平衡块 压电膜 检测 支承 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，对物理量进行检测，其特征在于，具备：基板(10)；检测平衡块(35、36)，经由包含检测梁(41)的梁部(40)而支承于所述基板；以及检测压电膜(61a～61d)，被设置于所述检测梁，若所述检测平衡块基于所述物理量的施加而向一个方向移动，则该检测压电膜(61a～61d)产生与伴随着该检测平衡块的移动而进行的所述检测梁的位移相应的电输出，所述检测梁具有在所述一个方向上错开位置而双臂支承所述检测平衡块的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)，所述第一检测梁的弹簧常数与所述第二检测梁的弹簧常数不同，在所述第一检测梁配备有所述检测压电膜。
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