[发明专利]研磨磨粒、其制造方法、包含该研磨磨粒的研磨浆料及使用该研磨浆料的研磨方法在审
| 申请号： | 201780041080.7 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109601005A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 细井大祐;町田新吾;繁田岳志 | 申请（专利权）人： | 日本百考基股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的研磨磨粒是由表面被添加剂覆盖、且在pH为8以下时电动电位为正的无机研磨粒子形成的研磨磨粒。而且，上述添加剂优选为皮考啉酸或谷氨酸。上述无机研磨粒子优选为氧化铈粒子。由表面被皮考啉酸或谷氨酸覆盖、且在pH为8以下时电动电位为正的氧化铈粒子形成的研磨磨粒是通过具有在皮考啉酸或谷氨酸的存在下将氧化铈进行湿式粉碎的工序的研磨磨粒的制造方法来制造的研磨磨粒。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨磨粒 谷氨酸 氧化铈粒子 电动电位 研磨粒子 优选 添加剂 制造 湿式粉碎 研磨浆料 研磨 研磨浆 氧化铈 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种研磨磨粒，其由表面被添加剂覆盖、且在pH为8以下时电动电位为正的无机研磨粒子形成。
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