[发明专利]掩模保持装置

摘要

本发明提供能够在将掩模固定于沿大致铅垂方向设置的框架的状态下使掩模稳定地旋转掩模保持装置。在平台载置有移动部，并且在移动部载置有掩模保持部(40)，掩模保持部(40)具有沿大致铅垂方向保持作为被检查对象的掩模(M)的大致框状的框架(41)、以及使框架(41)旋转的旋转机构(43)。旋转机构(43)具有在框架的位于下侧的框部分的两端附近设置的第一螺母构件(433A)及第二螺母构件(433B)、与第一螺母构件(433A)及第二螺母构件(433B)分别螺合的第一螺钉构件(432A)及第二螺钉构件(432B)、以及使第一螺钉构件(432A)与第二螺钉构件(432B)旋转不同的量的旋转驱动部(431)。另外，在移动部沿大致铅垂方向设置有第一销(438A)及第二销(438B)，第一螺钉构件(432A)在第一销(438A)的上方设置在俯视观察时与第一销(438A)重叠的位置，第二螺钉构件(432B)在第二销(438B)的上方设置在俯视观察时与第二销(438B)重叠的位置。

主权项

1.一种掩模保持装置，其特征在于，具备：平台；掩模保持部，其具有沿大致铅垂方向保持作为被检查对象的掩模的大致框状的框架、及使所述框架旋转的旋转机构；以及移动部，其载置于所述平台，并且载置有所述掩模保持部，该移动部设置为能够沿所述平台的长度方向移动，所述旋转机构具有在所述框架的位于下侧的框部分的两端附近设置的第一螺母构件及第二螺母构件、与所述第一螺母构件及所述第二螺母构件分别螺合的第一螺钉构件及第二螺钉构件、以及使所述第一螺钉构件与所述第二螺钉构件旋转不同的量的旋转驱动部，在所述移动部沿大致铅垂方向设置有第一销及第二销，所述第一螺钉构件在所述第一销的上方设置在俯视观察时与所述第一销重叠的位置，所述第二螺钉构件在所述第二销的上方设置在俯视观察时与所述第二销重叠的位置。