[发明专利]溅射装置用成膜单元

摘要

本发明提供一种溅射装置用成膜单元，其不会损害靶相对于磁铁单元自由相对移动的功能，结构简单且维护性良好。本发明的溅射装置用成膜单元(FU)，其中在支撑板(1)上设置有与背板(3)接合的靶(2)；磁铁单元(5)；以及使靶相对磁铁单元沿支撑板进行往返移动的驱动装置(8)。在背板上突出设置与其冷媒通道(31)连通的供应管(32)和排出管(33)，支撑板上开设长边在靶往返移动方向上的隙孔(13)，供应管和排出管分别插通所述隙孔(13)。在支撑板下表面上设置罩体(71)，所述罩体包括隙孔地分别围绕从供应管和排出管的隙孔向下方突出的部分保持气密状态，从罩体向往返移动方向突出的供应管和排出管的部分上分别外套波纹管(72)，并连接驱动装置的驱动部。

主权项

1.一种溅射装置用成膜单元，其具有对真空室开口装卸自由的支撑板；其以支撑板一面侧为上，在该支撑板上具有下表面与背板接合的靶，以及固定设置在背板和支撑板之间使漏磁场作用在靶上的磁铁单元；其特征在于：其还具有驱动装置，所述驱动装置在通过溅射电源向靶施加电力对靶进行溅射期间，使靶相对磁铁单元沿支撑板进行往返移动；在背板上突出设置冷媒的供应管和排出管，所述供应管和排出管与所述背板内部形成的冷媒通道连通，支撑板上开设长边在靶往返移动方向上的隙孔，供应管和排出管分别插通所述隙孔，在支撑板下表面上设置罩体，所述罩体包括隙孔地分别围绕从供应管和排出管的隙孔向下方突出的部分保持气密状态，从罩体向往返移动方向突出的供应管和排出管的部分上分别外套波纹管，使驱动装置的驱动部与供应管和排出管中至少一方相连。