[发明专利]显微术的布置和校正像差的布置有效
| 申请号： | 201780041421.0 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109416462B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | J.西本摩根;H.利珀特;T.卡尔克布伦纳;I.克莱普;R.沃莱辛斯基;A.德根;M.瓦尔德;L-C.威蒂格;M.戈利斯;W.辛格 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/16;G02B21/36;G02B21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞;邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种显微术的布置(1)，包括具有照明镜头(2)的照明光学单元以通过照明束路径在样品平面(4)的样品区域中照明位于样品保持件(7)上的样品(5)，其中照明镜头(2)的光轴(A1)位于与样品平面(4)的法线形成非零的照明角(α1)的平面中，将样品保持件(7)关于该样品平面(4)取向，并且在平面中实现照明。此外，在检测束路径中存在具有检测镜头(3)的检测光学单元，该检测镜头(3)的光轴(A2)与样品平面(4)的法线形成非零的检测角(α2)。照明镜头(2)和/或检测镜头(3)包括布置在束路径中的照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)。根据本发明，样品保持件(7)和镜头(2、3)具有在它俩之间的弯月形透镜(10)，该弯月形透镜布置在照明束路径中和检测束路径中并且配置为校正像差。照明校正元件(2KE)和/或检测校正元件(3KE)配置为校正剩余的像差。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 布置 校正 | ||
【主权项】：
1.一种显微术的布置，包括‑照明光学单元，所述照明光学单元具有经由照明束路径照明在样品平面(4)的样品区域中位于样品载体(7)上的样品(5)的照明物镜(2)，其中所述照明物镜(2)的光轴(A1)位于包含与所述样品平面(4)的法线成不为零的照明角(α1)的平面中，所述样品载体(7)关于所述样品平面(4)对准，并且所述照明实现在所述平面中，‑具有检测束路径中的检测物镜(3)的检测光学单元，所述检测物镜(3)的光轴(A2)包含与所述样品平面(4)的法线成不为零的检测角(α2)，‑所述照明物镜(2)包括布置在束路径或者可引入到束路径中的照明校正元件(2KE)，和/或‑所述检测物镜(3)包括布置在束路径或者可引入到束路径中的检测校正元件(3KE)，其特征在于‑弯月形透镜(10)出现在所述样品载体(7)和所述物镜(2、3)之间，所述弯月形透镜布置在照明束路径中和检测束路径中。‑所述弯月形透镜(10)实施为校正由于穿过具有要检测的辐射和/或照明所述样品的辐射的不同折射率的介质的通道而产生的像差，并且‑所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)实施为校正剩余的像差。
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