[发明专利]在选择角度地照明时的伪迹减少有效

专利信息
申请号: 201780041423.X 申请日: 2017-04-26
公开(公告)号: CN109416464B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 拉尔斯·施托佩;莫里茨·斯密德林;格哈德·克拉姆佩尔特;卡伊·威克尔 申请(专利权)人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
主分类号: G02B21/14 分类号: G02B21/14;G02B21/36;G06T5/00;G02B21/06;G06T5/50
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 王瑞朋;胡彬
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种光学设备(100),其包括:试样保持器(102),该试样保持器设置为,将物体固定在所述光学设备(100)的光路中,和照明模块(180),该照明模块包括多个光源(182)并且设置为,通过运行所述光源(182)由多个照明方向(111)照明所述物体,其中,每个照明方向(111)具有一个对应的照明场(215)。所述光学设备(100)还包括滤光镜(300),该滤光镜设置在照明模块(180)与试样保持器(102)之间并且设置为,为每个照明方向(111)扩张对应的照明场(215)。由此可以在选择角度地照明时减少基于杂质的伪迹。还描述了数码伪迹减少技术。例如,所述光学设备(100)可以是显微镜。
搜索关键词: 选择 角度 照明 减少
【主权项】:
1.一种方法,该方法包括:对光学设备(100)的照明模块(180)进行操控,并且所述照明模块具有用于由多个测量照明方向(111‑114)照明物体(125)的多个光源(182),对所述光学设备(100)的检测器(101)进行操控,所述检测器用于检测所述物体(125)的测量图像(501,502),其中,将所述测量图像(501,502)对应于所述测量照明方向(111‑114),对于每个测量图像(501,502):实施伪迹减少,其减少了相应的测量图像(501,502)中的基于不对焦设置的杂质(120)的伪迹(121‑123),在实施伪迹减少之后对于所有的测量图像(501,502):将这些测量图像(501,502)组合以获得结果图像(601)。
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