[发明专利]压力差传感器在审
| 申请号： | 201780042028.3 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109416291A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 蒂莫·科博;本杰明·莱姆克 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L9/12;G01L13/02;G01L19/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆森;戚传江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定压力测量信号的压力差传感器，包括以下项目：基本上具有半导体材料的压力差测量单元，其能够被施加第一压力和第二压力，并且基于第一压力和第二压力之间的差使用电换能元件输出压力测量信号；优选地具有陶瓷或半导体材料的第一加强元件，利用第一接合层与压力差测量单元接合并具有第一管道，能够经由第一管道将第一压力施加到压力差测量单元；并且具有陶瓷或半导体材料的第二加强元件，利用第二接合层与压力差测量单元接合并具有第二管道，能够经由第二管道将第二压力施加到压力差测量单元；其中，第一接合层和/或第二接合层包括导电材料，优选金属材料，并且第一接合层和/或第二接合层除了用于压差测量单元分别与第一加强元件和第二加强元件的机械连接之外还用于实现电功能。 | ||
| 搜索关键词： | 接合层 测量单元 压力差 加强元件 半导体材料 压力差传感器 第二管道 第一管道 压力施加 优选 陶瓷 压差测量单元 压力测量信号 金属材料 测量信号 导电材料 换能元件 机械连接 输出压力 电功能 合并 施加 | ||
【主权项】：
1.用于确定压力测量信号的压力差传感器，所述压力差传感器包括：压力差测量单元(100)，所述压力差测量单元(100)基本上为半导体材料，优选硅，其中，所述压力差测量单元能够供应有第一压力和第二压力，并且在电换能器元件(103、104、105、106、107、108、110)帮助的情况下，根据所述第一压力与所述第二压力之间的差输出所述压力测量信号；第一加强元件(118)，所述第一加强元件(118)优选地为陶瓷或半导体材料，其中，所述第一加强元件利用第一接合层(116)与所述压力差测量单元(100)接合并具有第一管道(109)，经由所述第一管道(109)所述第一压力能够供应给所述压力差测量单元(100)；第二加强元件(119)，所述第二加强元件(119)优选地为陶瓷或半导体材料，其中，所述第二加强元件利用第二接合层(117)与所述压力差测量单元(100)接合并具有第二管道，经由所述第二管道所述第二压力能够供应给所述压力差测量单元(100)；其中，所述第一接合层(116)和/或所述第二接合层(117)包括导电材料，优选金属材料，并且所述第一接合层(116)和/或所述第二接合层(117)除了用于所述压力差测量单元(100)与所述第一加强元件(118)和所述第二加强元件(119)的机械连接之外还用于实现电功能。
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