[发明专利]衬底保持器和制造衬底保持器的方法

摘要

本文公开了一种衬底保持器、一种制造衬底保持器的方法、一种包括所述衬底保持器的光刻设备、以及一种使用所述光刻设备制造器件的方法。在一种布置中，提供了一种用于光刻设备的衬底保持器。衬底保持器支撑衬底。衬底保持器包括主体。主体具有主体表面。设置从主体表面突出的多个突节。每个突节具有突节侧表面和远端表面。每个突节的远端表面接合衬底。突节的远端表面基本上与支撑平面保持形状一致并且支撑所述衬底。碳基材料层被设置在碳基材料的多个分离区域中。所述碳基材料层提供具有比所述主体表面的在所述碳基材料的多个分离区域之外的部分更低的摩擦系数的表面。碳基材料层仅覆盖突节中的至少一个突节的远端表面的一部分。可替代地，碳基材料层覆盖突节中的至少一个突节的远端表面和突节侧表面的至少一部分。

主权项

1.一种用于光刻设备的衬底保持器，配置成支撑衬底，所述衬底保持器包括：具有主体表面的主体；从所述主体表面突出的多个突节，其中每个突节具有突节侧表面和远端表面，其中所述远端表面配置成与所述衬底接合；所述突节的远端表面基本上与支撑平面保持形状一致并且被配置用于支撑所述衬底；其中，碳基材料层设置在碳基材料的多个分离区域中，所述碳基材料层提供具有比所述主体表面的在所述碳基材料的多个分离区域之外的部分更低的摩擦系数的表面；和所述碳基材料层仅覆盖所述多个突节中的至少一个突节的远端表面的一部分，或者所述碳基材料层覆盖所述多个突节中的至少一个突节的远端表面以及所述突节侧表面的至少一部分。