[发明专利]对设计布局的计算分析的性能指标进行可视化有效
| 申请号： | 201780043378.1 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109478013B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | N·潘迪;M·C·西蒙 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种方法，所述方法包括：获得规定光刻图案的布局的数据；获得所述布局的计算分析的多个性能指标，所述多个性能指标指示执行所述计算分析的相应部分的一台或更多台计算机过程的性能；使所述多个性能指标与在相应性能指标的测量期间处理的所述布局的多个部分相关联；以及基于使所述多个性能指标与在测量期间处理的所述布局的多个部分相关联的结果，产生三维或更高维显像，其中，显像维度中的至少一些维度指示所述布局的多个部分的相对位置，并且显像维度中的至少一些维度指示与相应部分相关联的性能指标。 | ||
| 搜索关键词： | 设计 布局 计算 分析 性能指标 进行 可视化 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：利用一个或更多个处理器获得规定光刻图案的布局的数据；利用一个或更多个处理器获得所述布局的计算分析的多个性能指标，所述多个性能指标指示执行所述计算分析的相应部分的一台或更多台计算机过程的性能；利用一个或更多个处理器使所述多个性能指标与在相应性能指标的测量期间被处理的所述布局的多个部分相关联；和基于使所述多个性能指标与在测量期间被处理的所述布局的多个部分相关联的结果，利用一个或更多个处理器产生三维或更高维度的显像，其中，显像维度中的至少一些指示所述布局的多个部分的相对位置，并且显像维度中的至少一些指示与相应部分相关联的性能指标。
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