[发明专利]用于制造多个压电多层器件的方法在审
| 申请号： | 201780045723.5 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN109643753A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 贝恩哈德·德尔加斯特;马库斯·普夫 | 申请（专利权）人： | TDK电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/337 | 分类号： | H01L41/337;H01L41/083;H01L41/107;B24B31/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造多个压电多层器件(1)的方法，其中压电多层器件在没有添加研磨剂(24)的情况下被研磨，其中通过压电多层器件彼此摩擦进行压电多层器件的材料磨蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 压电多层器件 材料磨蚀 研磨 研磨剂 制造 摩擦 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造多个压电多层器件(1)的方法，其中所述压电多层器件(1)在没有添加研磨剂的情况下被研磨，其中通过所述压电多层器件(1)彼此摩擦进行从所述压电多层器件(1)的材料磨蚀。
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