[发明专利]用于x射线显微镜检查的方法和设备

摘要

本公开呈现了使用具有微观尺度或纳米尺度射束强度轮廓的微束的阵列来提供物体的微观区域或纳米区域的选择性照射的x射线显微镜检查系统。阵列检测器被定位为使得检测器的每个像素仅检测与单个微观射束或纳米射束相对应的x射线。这使得产生于每个x射线检测器像素的信号可以在特定的有限的微观尺度或纳米尺度区域被照射的情况下被识别，从而使得物体在微观尺度或纳米尺度上的采样的透射图像可以在使用具有较大的大小和尺度的像素的检测器时产生。具有较高量子效率的检测器因此可以被使用，因为侧向分辨率仅由微观射束或纳米射束的尺寸提供。可以使用阵列型x射线源或一组Talbot干涉条纹来产生微观尺度或纳米尺度射束。

主权项

1.一种用x射线检查物体的方法，包括：在预定区域中创建从共同的x射线源传播的x射线微束的周期性阵列，其中所述预定区域内的每个x射线微束具有通过所述共同的x射线源的轴线，并且另外具有大于10％的从所述微束轴线垂直地测得的、沿着所述微束轴线的x射线强度和等于所述x射线微束的周期性阵列的周期的1/2的距离处的x射线强度之间的对比度；将x射线像素阵列检测器系统定位为使得检测器的x射线传感器在所述预定区域内并且检测器的像素是对齐的以使得每个像素检测与不多于一个的x射线微束相对应的x射线；将物体放置在所述x射线阵列检测器的前面，并且将所述物体的将被检测的一部分定位在所述预定区域内；用所述x射线微束的周期性阵列照射所述物体的所述部分；并且记录所述x射线阵列检测器生成的信号。