[发明专利]超纯水制造装置

摘要

提供一种超纯水制造装置，其能够使用于对要被送至使用点的超纯水进行加温制成温超纯水的热交换器的热源成本降低，并且能够使用于冷却一次纯水的成本降低。将来自副系统(4)的二次纯水通过热交换器(6)、热交换器(10)及热交换器(12)加热，再送往使用点。热交换器(6)的热源是从使用点回流的温超纯水。该回流超纯水在热交换器(6)及热交换器(43)中降温之后，被导入副槽(2)。在热交换器(10)中循环流通有通过加热泵(20)被加热过的第一媒介水。在加热泵(20)的蒸发器21中循环有第二媒介水。在第二媒介水的循环流路上设置有使来自使用点(40)的温排水流通的热交换器(26)，在比热交换器(26)更靠上游侧设有热交换器(43)。

主权项

1.一种超纯水制造装置，该超纯水制造装置将被加热过的超纯水供给至使用点，其具备：一次纯水制造装置；二次纯水制造装置，对来自该一次纯水制造装置的一次纯水进行处理来制造超纯水；第一热交换器，用于对来自该二次纯水制造装置的超纯水进行加热，并以来自使用点的回流水作为热源；回流水返送系统，具备对通过该第一热交换器后的该回流水进行冷却的第二热交换器，并将在该第二热交换器中被冷却过的回流水加入所述一次纯水；和加热机构，对在该第一热交换器中被加热过的超纯水进一步进行加热；其特征在于，所述加热机构具备：第三热交换器，在所述第一热交换器中被加热过的超纯水被通入该第三热交换器的被加热流体流路中；第一循环流路，使作为传热媒介的第一媒介水在该第三热交换器的热源流体流路中循环流通；和加热泵，对在该第一循环流路中流动的第一媒介水进行加热；其中：该加热泵，具备凝缩器、蒸发器、泵及膨张阀；该凝缩器设置在所述第一循环流路上以便加热该第一媒介水；该蒸发器设置在循环有第二媒介水的第二循环流路上；在该第二循环流路上，设置有用于利用温排水的热对第二媒介水进行加热的第四热交换器；在比该第四热交换器更靠上游侧的第二循环流路上设置有所述第二热交换器。