[发明专利]同时捕捉来自多个目标的重叠信号有效
| 申请号： | 201780046742.X | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN109564160B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 安迪（安德鲁）·希尔;阿姆农·玛纳森;尤里·帕斯卡维尔;尤瓦尔·卢巴舍夫斯基 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/95;G01B11/00;G02B27/28;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 捕捉 来自 目标 重叠 信号 | ||
【主权项】：
1.一种计量系统，其包括具有照明路径及收集路径的光学系统，其中至少一个检测器是在所述收集路径的光瞳平面处，其中所述光学系统在其所述收集路径的至少一个场平面处包括至少一个光学元件，所述至少一个光学元件经配置以将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。
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