[发明专利]具有可调喷头与可调衬垫的工艺腔室有效
| 申请号： | 201780047258.9 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109564844B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | A·恩古耶;X·Y·常;王海涛;K-Y·高;R·萨德贾迪 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了具有可调喷头和可调衬垫的处理腔室。在一些实施例中，工艺腔室包括：喷头；腔室衬垫；第一阻抗电路，所述第一阻抗电路耦接至喷头以调节喷头的阻抗；第二阻抗电路，所述第二阻抗电路耦接至腔室衬垫以调节腔室衬垫的阻抗；以及控制器，所述控制器耦接至第一阻抗电路和第二阻抗电路以控制喷头和腔室衬垫的相对阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可调 喷头 衬垫 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种工艺腔室，包括：喷头；腔室衬垫；第一阻抗电路，所述第一阻抗电路耦接至所述喷头，以调节所述喷头的阻抗；第二阻抗电路，所述第二阻抗电路耦接至所述腔室衬垫，以调节所述腔室衬垫的阻抗；以及控制器，所述控制器耦接至所述第一阻抗电路和所述第二阻抗电路，以控制所述喷头和所述腔室衬垫的相对阻抗。
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