[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 201780047298.3 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN109564167A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 永田泰史 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/30 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种高精度地检查对象物的表面形态的技术。由第一拍摄部拍摄对象物的表面的被检查区域中的作为镜面处理对象的第一区域。此外，由第二拍摄部拍摄对象物的表面的被检查区域中的不作为镜面处理对象的第二区域。检查部根据由第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查第一区域的形态，并且根据由第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查第二区域的形态。此外，在拍摄时，保持部以成为第一区域的法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系的方式来保持对象物。因此，能够高精度地掌握第一区域的镜面的状态，并且能够高精度地掌握第二区域的凹凸的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 第一区域 第二区域 拍摄 拍摄对象物 检查区域 镜面处理 拍摄图像 检查 法线 检查对象物 表面形态 检查装置 凹凸的 对象物 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，具有：保持部，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；第一拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；第二拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及检查部，根据由所述第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据由所述第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，所述保持部以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿着所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。
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