[发明专利]钨阻挡层抛光料浆组合物有效
| 申请号： | 201780048960.7 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN109563375B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 朴韩泰;孔铉九;李相美 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/34 | 分类号： | C11D7/34;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 张俊国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钨阻挡层抛光料浆组合物，根据本发明的一个实施例的钨阻挡层抛光料浆组合物包括：抛光粒子；和含有硫磺的氨基酸，可改善边缘过度侵蚀EOE(edge over erosion)。 | ||
| 搜索关键词： | 阻挡 抛光 组合 | ||
【主权项】：
1.一种钨阻挡层抛光料浆组合物，包括：抛光粒子；和含有硫磺的氨基酸。
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