[发明专利]用于从宽带源产生多通道可调谐照明的系统及方法有效
| 申请号： | 201780050429.3 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109564157B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 安迪(安德鲁)·希尔;阿姆农·玛纳森;欧哈德·巴沙尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 宽带 产生 通道 调谐 照明 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种度量系统，其包括：照明源，其经配置以产生照明光束；多通道光谱滤波器，其包括：两个或两个以上滤波通道，其包含两个或两个以上通道光束路径，其中所述两个或两个以上滤波通道经配置以基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明；及通道选择器，其经配置以将所述照明光束的至少一部分引导到所述两个或两个以上滤波通道的至少一个选定滤波通道中以基于所述两个或两个以上光谱透射率分布的选定光谱透射率分布来过滤所述照明光束的所述至少一部分；至少一个光束组合器，其用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱；聚焦元件，其用于将来自所述单个光学柱的照明引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获来自所述样本的辐射。
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